- 詳細介紹
ES500是我公司推出的一款钕鐵硼材料表面镀鋁設備，傳統的鋁鐵硼材料镀鋁來防腐蝕，一般都是通過水電镀的方式處理，水電镀的主要問題是質量不可靠、生產過程中對環境的汙染嚴重，我們利用真空镀膜原理，利用磁控溅射和熱蒸發的镀膜方式，輔助以高壓離子轟擊，在钕鐵硼材料上實現快速镀制致密鋁膜，ES500設備的主要技術規格如下：
| 真空室尺寸 | L1000mm * H1000mm * W700mm |
| 均勻可镀區 | Ø600mm * 700mm |
| 極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 壓升率 | 0.33Pa/hr（常態） |
| 冷卻水 | 5ton/hr |
| 占據空間 | 4.0*3.0*3.5m3 |
| 真空室 | 日韓304不鏽鋼，雙層內襯，五年質保 |
| 抽氣系統 | Leybold擴散泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
| 真空檢測 | SKY90複合真空計 |
| 流量控制 | 七星華創7S-CS200數字流量計/Brooks/MKS/AE |
| 轉架 | 大網籠帶一次自轉和小網籠帶二次自轉，保證工件之間無磕碰接觸 |
| 磁控溅射 | 柱狀溅射靶1套 |
| 蒸發舟 | 氮化硼蒸發舟5套 |
| 送絲機構 | 送絲速度可調，保證不同的蒸發沉積速率 |
| 轟擊電源 | 最高可達3000V |
| 加熱系統 | 最高300度，2根熱電偶監測 |
| 冷卻水循環系統 | 配日本SMC水流開關，智能控制 |
| 電氣元件 | 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器 |
索取離子镀膜機報價及行業解決方案：support@prochina.com.cn
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