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eVorizon VL系列磁控溅射立式連續镀膜設備

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行業應用解決方案：
● 光伏行業
● 磁性材料...

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詳細介紹

面向光伏行業和磁性材料行業的立式磁控溅射镀膜設備。

技術規格如下：

基材種類	金屬、玻璃、陶瓷、塑料等
基材寬幅	1000-2200mm
基片走速	30-1000mm/min
薄膜均勻性	±5%
靶材利用率	平面陰極≥30%，移動平面陰極≥60%，旋轉陰極≥80%

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