- 詳細介紹
AS680 Plus型PVD離子镀膜設備可以用于沉積DLC類金剛石塗層以及常規的硬質塗層，技術規格如下：
| 真空室尺寸 | Ø1000mm * H1300mm |
| 均勻可镀區 | Ø600mm * H800mm |
| 極限真空度 | 3.0*E-4Pa |
| 壓升率 | 0.2Pa/hr |
| 冷卻水 | 6ton/hr |
| 占據空間 | 4.5*4.0*3.5 |
| 抽氣系統 | 粗抽泵+羅茨泵+分子泵+前級泵 |
| 真空檢測 | 複合真空計+薄膜真空規 |
| 工藝氣體MFC | 4路 |
| 轉架 | 可移出式下轉架（4軸、5軸、6軸、8軸任選） |
| 4G-CAE®電弧 | 最多8套（2列*4套/列） |
| 磁控溅射 | 最多4套（平面靶或柱狀靶） |
| GIS氣體離子源 | 1套 |
| 偏壓電源 | 1套 |
| Smart智能源擋板 | 1套，實現镀膜前的靶材預清洗 |
| 加熱系統 | 500度，3根熱電偶監測 |
| 冷卻水循環系統 | 配日本SMC/CKD水流開關，智能控制 |
| 電氣元件 | 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器 |
索取離子镀膜機報價及行業解決方案：huzhongjun@naura.com
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